Tracer 2™ (Moisture Analyzer)

기술사양

측정 범위: 0-2000ppb(불활성가스), 0-1200ppb(O2),

     0-500ppb(H2)

센서 : P2O5 센서

정확성: 판독값의 4% 또는 ±4ppb(Inert)

알람: 설정 가능한 알람 2개(셀 반응 및 유량용 시스템 알람)

유량 조절: 1200SCCM/min

LDL: 1ppb @95% confidence limit

주변 조건: 10℃ ~ 40℃, 20 ~ 80%RH, 비-응축, 비-부식성 대기

전원: 100 ~ 240VAC, 50W

샘플 인렛 압력: 30 ~ 150psig(2 ~ 10.2bar)

감도: 0.5ppb 또는 이 이하

시그널 출력: 1 x 0-5VDC & 4-20mA, RS-232

마운팅: 7” x 19” 랙 장착형

주요특징

Modular configuration

High Performance

Low cost ownership

Ease of operation

Portability

RS-232 communication to connect PC

Service in Real-time

TRACER 2 addresses the need for accurate, reliable process controls, and moisture sampling at levels at or below single-digit ppbs

적용분야

Semiconductor manufacturing

Inert and specialty gas Industries

Component and system testing

Laboratory research

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