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Gas Monitoring System
정제기 (Gas Purifier)
최대 작동 압력: 250psig(17.24bar)-vessels only
     150psig(1034bar)-Nova & pro-panel
최대 작동 온도: 400℃
노미널 유량: 0.3 ~ 20.00slpm
최대 유량: 4.5 ~ 300slpm
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