정제기 (Gas Purifier)

최대 작동 압력: 250psig(17.24bar)-vessels only

150psig(1034bar)-Nova & pro-panel

최대 작동 온도: 400℃

노미널 유량: 0.3 ~ 20.00slpm

최대 유량: 4.5 ~ 300slpm

압력 드롭: <2psid(일반적)

필터: 0.1µm(표준), 0.003µm(옵션)

Wetted parts(접액부): 전해연마, <10Ra, 316L 스테인리스 스틸

일반 인렛 가스 순도: 99.999%

아웃렛 순도: <1ppb

전원: 100VAC, 120VAC, 230VAC, 50/60Hz, 600W(최대)

인렛/아웃렛 피팅: VCR(표준), Swagelok(옵션)